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北方华创提供一站式解决方案在碳化硅半导体产业弄潮

发布时间:2021年07月07日    点击:[10]人次

北方华创:提供一站式解决方案,在碳化硅半导体产业弄潮!

2016年11月,美国外资投资委员会(CFIUS)建议福建宏芯基金彻底放弃收购德国半导体巨头爱思强,最终由奥巴马亲自出面阻止了这次收购。

2018年11月,以美国GT先进技术公司(GTAdvanced Technologies)总裁兼CEO格雷戈(GregKnight)为首的相关利益者,呼吁美国政府禁止向中国销售碳化硅晶体生产加工设备,以此保护美国新兴的碳化硅半导体产业。

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这一切皆源于目前我国半导体设备国产替代率仍然较低,严重依赖进口,目前国内集成电路设备自给率非常低,进口依赖不仅严重影响我国半导体的产业发展,也对我国电子信息安全造成重大隐患,亟需加快设备国产化中国机械网okmao.com。回顾历史的主要作用是展望未来。从上述事件再到后来种种,从官方政策到民间推力,国人普遍应该认清一个事实:抛弃幻想自力更生才是正确选项。

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只是道理容易明白,事情做起来却不容易,北方华创在这样的时代产业背景下成为万众瞩目的焦点,正是由于其推出了自主研发的新一代设备:APSPlus系列SiC晶体生长系统(AdvancedPVT SiC System)和工艺解决方案。简单说:中国第三代半导体装备怕不怕被“卡”脖子,得看它!

北方华创是我国02重大专项(极大规模集成电路制造技术及成套工艺)的主要承担单位,我国高端半导体装备制造头部企业。企业虽然已经历了60多年风霜,但历久弥新,依旧是高端半导体产业的弄潮儿!

北方华创认为,目前两大问题制约了SiC材料的大规模应用,分别是较高的成本和亟待优化的缺陷水平。针对这两大问题,北方华创APSPlus系列产品基于行业内技术较成熟、应用较广泛的物理气相输运法(PVT法),通过硬件设计优化和工艺研发带来了新的解决方案,帮助客户在激烈竞争的第三代半导体材料领域提升行业竞争力。同时亦通过设计模块化架构、高精度温度/功率/电流控制、自动化 软件系统等方案,为客户降低了SiC晶体的制造成本。设备兼备灵活精密的温度场调控系统、巧妙设计的腔室系统、独特的SiC工艺等方案,可让用户获得高质量的SiC晶体。

为满足用户对SiC晶体生长的更高需求,北方华创APSPlus系列产品在为客户提供4/6英寸SiC晶体的“原料合成—晶体生长—晶体退火—晶体加工”全流程一体化的工艺解决方案的基础上,维护简便,大限度减少了耗材使用,是省钱、省时、省心的一站式解决方案。

作为国内半导体设备平台型龙头公司,北方华创能够为碳化硅器件提供长晶炉、外延炉、氧化炉、高温退火炉以及刻蚀机、PVD、PECVD、清洗机等设备,也可为氮化镓器件提供刻蚀机、ALE、PECVD、清洗机等设备。